- [吉致動態(tài)]CMP拋光液---納米氧化鈰拋光液的優(yōu)點[
2023-03-03 09:15
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通常化學(xué)機械研磨拋光工藝使用的CMP拋光液有金剛石拋光液、氧化硅拋光液、氧化鋁拋光液及氧化鈰拋光液(又稱稀土拋光液)。 納米氧化鈰為水性液體是吉致電子采用先進的分散工藝,將納米氧化鈰粉體分散在水相介質(zhì)中,形成高度分散化、均勻化和穩(wěn)定化的納米氧化鈰水性懸浮液。1.在拋光材料應(yīng)用中,納米CeO2拋光液相對硅溶膠,具有拋光劃傷少、拋光速度快、易清洗良品率高等優(yōu)勢,且PH中性,使用壽命長、對拋光表面污染小,不易風(fēng)干。2.在拋光軍用紅外激光硅片、異型硅、超薄硅片方面上,尤其是拋光超薄硅片,納米氧化鈰
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http://m.jeffvon.com/Article/cmppgynmyh_1.html
- [行業(yè)資訊]稀土拋光液--氧化鈰拋光液的種類[
2022-11-29 16:27
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隨著光學(xué)技術(shù)和集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展,對光學(xué)元件的精密和超精密拋光以及集成電路的CMP拋光工藝的要求越來越高,甚至達到了極其苛刻的程度,尤其是在表面粗糙度和缺陷的控制方面。鈰系稀土拋光液因其切削能力強、拋光精度高、拋光質(zhì)量好、使用壽命長,在光學(xué)精密拋光領(lǐng)域發(fā)揮了極其重要的作用。吉致電子氧化鈰拋光液的種類和固含量可按拋光工件的用途來分:根據(jù)氧化鈰的含量,氧化鈰拋光液可分為低鈰、中鈰和高鈰拋光液,其切削力和使用壽命也由低到高。1.含95%以上氧化鈰的鈰拋光液呈淡黃色,比重約7.3。主要適用于精密光學(xué)鏡片的
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http://m.jeffvon.com/Article/xtpgyyhspg_1.html