吉致電子納米氧化硅拋光液的特點(diǎn)
吉致電子納米氧化硅拋光液的特點(diǎn):
1,可提高工件拋光速率和平坦度加工質(zhì)量,氧化硅拋光液采用高純納米二氧化硅(SiO2)磨料及多種復(fù)合材料配置而成,不會(huì)對(duì)工件造成物理?yè)p傷,拋光率高。
2,利用均勻分散的膠體二氧化硅粒子顆粒達(dá)到高速拋光的目的。
3,硅溶膠純度高,拋光液不腐蝕設(shè)備,無(wú)毒無(wú)害使用安全性能高。
4,CMP拋光液可實(shí)現(xiàn)工件的高平坦化加工。
5,有效減少拋光后的表面劃痕,降低表面粗糙度。
吉致電子通過(guò)科學(xué)工藝分散均勻的氧化硅顆粒,得到均勻分散的納米拋光液,具有高強(qiáng)度、高附著力、成膜性好、高滲透、高耐磨性等特點(diǎn),是一種性能優(yōu)良的CMP技術(shù)用的拋光材料。采購(gòu)CMP拋光液認(rèn)準(zhǔn)吉致電子拋光液生產(chǎn)廠家。
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