- [吉致動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體襯底拋光工藝---磷化銦InP拋光液[ 2023-10-31 17:20 ]
- 拋光是晶片表面加工的最后一道工序，目的是降低表面粗糙度，獲得無(wú)損傷的平坦化表面。對(duì)于磷化銦INP材料，目前主要采用 CMP化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝來(lái)進(jìn)行拋光。使用吉致電子磷化銦拋光液，可達(dá)到理想的表面粗糙度。磷化銦INP作為半導(dǎo)體襯底，需要經(jīng)過(guò)單晶生長(zhǎng)、切片、外圓倒角、研磨、拋光及清洗等工藝過(guò)程。由于磷化銦硬度小、質(zhì)地軟脆，在鋸切及研磨加工工藝中，晶片表面容易產(chǎn)生表面/亞表面損傷層，需要通過(guò)最終的CMP拋光工藝去除表面/亞表面損傷、減少位錯(cuò)密度并降低表面粗糙度。 吉致電子磷化銦拋光液采用氧化鋁
-
http://m.jeffvon.com/Article/bdtcdpggyl_1.html
相關(guān)搜索
- 無(wú)相關(guān)搜索
吉致熱門(mén)資訊
-
南京某手機(jī)外殼加工廠 -
上海某精磨玻璃拋光公司
-
廣東硅晶片拋光廠
-
吉致應(yīng)用案例：藍(lán)寶石
-
吉致應(yīng)用案例：陶瓷
-
吉致應(yīng)用案例：鎢鋼
-
吉致資訊第56期：高性?xún)r(jià)比Leme藍(lán)牙耳機(jī)
-
吉致資訊第64期：畫(huà)家的福音“APPLE PENCIL”
-
CMP拋光液的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
-
吉致資訊第118期：拋光墊性能對(duì)拋光液的影響
-
吉致資訊第119期 藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光液作用研究
-
吉致資訊第120期 諾基亞10 MAX長(zhǎng)這樣，這設(shè)計(jì)有點(diǎn)復(fù)古
-
吉致咨詢(xún)第121期 海綿砂紙?jiān)谀Ｐ痛蚰サ膽?yīng)用
-
吉致咨詢(xún)第122期 拋光液作用和濃度對(duì)工件的影響
-
吉致資訊第123期 如何正確選擇合適的拋光液
-
吉致資訊第124期 陶瓷鏡面拋光工藝
-
吉致資訊第125期 如何在研磨工藝中減免劃痕
-
吉致資訊第126期 NASA正在研究混合動(dòng)力客機(jī)：噪音更低、更省油
-
吉致咨資訊第127期 真人翻譯評(píng)訊飛曉譯翻譯機(jī)：晚來(lái)10年的“翻譯神器”
-
吉致資訊第128期 iPhone SE二代存在的意義 小尺寸大屏幕成終目
