- [常見問題]半導(dǎo)體拋光中銅拋光液和鎢拋光液的區(qū)別[ 2023-08-18 16:58 ]
- 常用的半導(dǎo)體拋光液,按拋光對(duì)象的不同分W鎢拋光液、CU銅拋光液、氧化層拋光液、STI拋光液等。其中銅拋光液slurry主要應(yīng)用于 130nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)邏輯芯片的制造工藝,而鎢拋光液W slurry則大量應(yīng)用于存儲(chǔ)芯片制造工藝,在邏輯芯片中用量較少。 銅拋光液,主要由腐蝕劑、成膜劑和納米磨料組成。腐蝕劑用來腐蝕溶解銅表面,成膜劑用于形成銅表面的鈍化膜,鈍化膜的形成可以保護(hù)腐蝕劑的進(jìn)一步腐蝕,并可有效地降低金屬表面硬度。除此之外,CMP拋光液中經(jīng)常添加一些化學(xué)試劑以調(diào)節(jié)PH值,為拋光過程
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- [吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子常見的CMP研磨液[ 2023-02-27 16:15 ]
- CMP 化學(xué)機(jī)械拋光液slurry的主要成分包括:磨料、添加劑和分散液。添加劑的種類根據(jù)產(chǎn)品適用場(chǎng)景也有所不同,分金屬拋光液和非金屬拋光液。金屬CMP拋光液含:金屬絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑等。非金屬CMP拋光液含:各種調(diào)節(jié)去除速率和選擇比的添加劑。 根據(jù)拋光對(duì)象不同,拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等類別。其中,銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片制造過程,在10nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)中,鈷將部分代替銅作為導(dǎo)線;硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過程中。吉致電子常見的CMP研
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- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體拋光液--球型二氧化硅拋光液的用途[ 2022-11-23 15:21 ]
- 球形硅微粉作為拋光液磨料,可大大提高產(chǎn)品的剛性、耐磨性、耐候性、抗沖擊性、耐壓性、抗拉性、阻燃性、良好的耐電弧絕緣性和耐紫外線輻射性。讓我們來看看球型二氧化硅拋光液在電子芯片中的一些應(yīng)用。 精密研磨粉高純球形硅粉用于光學(xué)器件和光電行業(yè)的精密研磨,特別適用于半導(dǎo)體單晶多晶硅片、顯像管玻殼玻屏、光學(xué)玻璃、液晶顯示器(LCD、LED)玻璃基板、壓電晶體、化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)、磁性材料等半導(dǎo)體行業(yè)的研磨拋光。 吉致電子用高純球形硅粉制備成的超高純硅溶膠拋光液slurry,
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- [行業(yè)資訊]金屬手機(jī)邊框的鏡面拋光方法是什么?[ 2022-10-31 16:01 ]
- 手機(jī)金屬外殼/手機(jī)邊框材質(zhì)一般為不銹鋼、鈦合金、鋁合金等,如華為\Iphone手機(jī)金屬邊框要達(dá)到完美的鏡面效果需要精拋步驟----手機(jī)鏡面拋光液slurry的主要成份是二氧化硅,二氧化硅拋光液外觀為乳白色,呈懸浮液狀態(tài),在拋光過程中起到收光磨料的作用。 金屬手機(jī)精拋液的主要技術(shù)要求是什么呢?①鏡面拋光液PH值的選擇:PH值高低很可能會(huì)影響到最終的拋光效果,高低差別會(huì)導(dǎo)致手機(jī)金屬工件發(fā)黑氧化,以及麻點(diǎn)和起霧,所以如何控制PH值非常重要。②鏡面拋光液磨粒大小的選擇:氧化硅磨料顆粒大小,直接影響
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- [吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子 射頻濾波器拋光液slurry廠家[ 2022-10-20 17:38 ]
- 射頻濾波器發(fā)展至今,基本主要有兩種構(gòu)型,其中,一類是SAW濾波器(聲表面波,Surface Acoustic Wave),另一類是BAW濾波器(體聲波,Bulk Acoustic Wave),而BAW濾波器又可細(xì)分為SMR(固態(tài)裝配諧振器,Solidly Mounted Resonator)和FBAR(薄膜腔諧振器,Film Bulk Acoustic Resonator)4-6。目前市場(chǎng)主流的濾波器是SAW(聲表面波濾波器)、BAW(體聲波濾波器)和FBAR(薄膜腔聲諧振濾波器) 隨著5
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- [行業(yè)資訊]吉致資訊第151期:生活中離不開的“濾波器”[ 2021-08-21 08:52 ]
- 吉致資訊第151期:生活中離不開的“濾波器” 我們生活中離不開一樣潛在的東西,那就是濾波器,我們不管是wifi、藍(lán)牙、手機(jī)的2g/3g/4g/5g等的信號(hào)發(fā)射和接受都需要濾波器,一臺(tái)小小的手機(jī)就需要數(shù)十個(gè)濾波器的元器件,而濾波器的主要性能就是性能,而平坦度直接影響其性能,所以在生產(chǎn)濾波器的過程中會(huì)進(jìn)行CMP化學(xué)機(jī)械拋光,其需要用到拋光液slurry,目前這一耗材長(zhǎng)期受國(guó)外“卡脖子”,國(guó)外企業(yè)說斷供就斷供,而目前國(guó)內(nèi)無錫吉致電子科技有限公司聘請(qǐng)國(guó)外留學(xué)歸來博士
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