- [行業(yè)資訊]吉致電子---Si硅片拋光液，為半導(dǎo)體護(hù)航[ 2024-11-07 16:12 ]
- 半導(dǎo)體硅片拋光液是一種均勻分散膠粒的乳白色膠體，在半導(dǎo)體材料的CMP加工過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。其外觀通常為乳白色或微藍(lán)色透明溶液。半導(dǎo)體硅片Si拋光液主要有拋光、潤(rùn)滑、冷卻等作用。在拋光方面，Si Slurry能夠有效地去除半導(dǎo)體硅晶圓表面的雜質(zhì)和凸起，使硅片表面更加光滑平整。例如，經(jīng)過(guò)拋光液處理后，晶片表面的微粗糙度可以達(dá)到 0.2nm 以下。在潤(rùn)滑作用中，它可以減少硅片與拋光設(shè)備之間的摩擦，降低磨損，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。同時(shí)，在拋光過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生熱量，而拋光液的冷卻作用可以及時(shí)帶走熱量，防止硅片
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