- [吉致動態(tài)]吉致電子氮化鋁陶瓷基片拋光[ 2023-12-08 16:41 ]
- 氮化鋁陶瓷基板具有高導熱率、低介電常數(shù)、低熱膨脹系數(shù)、高機械強度、高耐腐蝕性等特點。其作為電路元件及互連線承載體，廣泛應用再軍事和空間技術(shù)通訊、計算機、儀器儀表、半導體電子設(shè)備、汽車等各個領(lǐng)域。氮化鋁陶瓷經(jīng)過CMP拋光后可用于半導體激光器、固體繼電器、大功率集成電路及封裝等要求絕緣又高散熱的大功率器件上。吉致電子氮化鋁陶瓷拋光液可達鏡面效果，特點如下：1、納米級拋光液，拋光后具有較優(yōu)的粗糙度2、陶瓷基片拋光液綠色無污染、不含鹵素及重金屬元素3、拋光液可循環(huán)使用，根據(jù)工藝要求可添加去離子水稀釋氮化鋁陶瓷基板通過CMP
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