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- [吉致動(dòng)態(tài)]硅溶膠研磨液--精密工件鏡面拋光效果秘密[
2023-01-06 13:52
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吉致電子硅溶膠研磨液/拋光液采用的是納米級(jí)工藝,主要粒徑在10-150nm。適用于各種材質(zhì)工件的CMP表面鏡面處理。以硅溶膠漿料為鏡面的平面研磨的材料有半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)玻璃、3C電子金屬元件、藍(lán)寶石襯底、LED顯示屏等高精密元件。 硅溶膠拋光液也稱二氧化硅拋光液、氧化硅精拋液,SiO2是硅溶膠的化學(xué)名,適用范圍已擴(kuò)展到半導(dǎo)體產(chǎn)品的CMP拋光工藝中。 CMP拋光機(jī)可以將氧化硅研磨液循環(huán)引入磨盤,同時(shí)起到潤(rùn)滑和冷卻的作用,通過拋光液和拋光墊組合拋磨可以使工件表面粗糙度達(dá)到0.2um
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http://m.jeffvon.com/Article/grjymyjmgj_1.html
- [常見問題]3C鏡面拋光液用什么拋光液[
2022-12-09 16:18
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3C產(chǎn)品表面鏡面拋光一般不采用電解拋光方式,而是選擇CMP機(jī)械拋光工藝。SiO2拋光液用于3C工件的鏡面拋光工藝,主要由納米級(jí)磨料制備而成,規(guī)格一般在10nm-150nm拋光后的產(chǎn)品鏡面精度高,表面收光細(xì)膩。 氧化硅精拋液進(jìn)行精拋工藝后,工件可以從霧面提升到鏡面透亮的效果。拋光液配合精拋皮使用,鏡面效果檢測(cè)可達(dá)納米級(jí)。3C金屬拋光液用于鏡面要求較高的工件拋光,因此必須做好前道工序。先粗拋打好基礎(chǔ),再精拋去除缺陷和不良效果。 有客戶使用二氧化硅拋光液后工件表面會(huì)產(chǎn)生麻點(diǎn),這是由于
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http://m.jeffvon.com/Article/3cjmpgyysm_1.html
- [吉致動(dòng)態(tài)]氧化硅拋光液的結(jié)晶問題[
2022-08-12 13:25
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氧化硅拋光液長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中,會(huì)使水分蒸發(fā)剩下固體氧化硅,造成硅晶體析出現(xiàn)象,稱之為結(jié)晶。在實(shí)際應(yīng)用時(shí),硅溶膠拋光液會(huì)一直在磨盤內(nèi)旋轉(zhuǎn)循環(huán)及流動(dòng),結(jié)晶現(xiàn)象較少,但是高溫或拋光液濃度沒有配置好,會(huì)造成團(tuán)聚,損傷工件,影響拋光效果。根據(jù)二氧化硅的特性,吉致電子拋光液廠家開發(fā)了抗結(jié)晶納米二氧化硅拋光液,可以長(zhǎng)時(shí)間保持氧化硅穩(wěn)定液體狀態(tài)。拋磨工件時(shí)易搖散且不團(tuán)聚,化學(xué)性能穩(wěn)定分散均勻,氧化硅精拋液拋光效率高,能有效縮短工時(shí),磨拋后工件呈現(xiàn)鏡面效果,無劃傷、高平坦。 外需要注意的是,氧化硅拋光液的
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http://m.jeffvon.com/Article/yhgpgydjjw_1.html