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[常見問題]什么是單一磨料的CMP拋光液?[ 2022-08-31 16:11 ]
單一磨料拋光液化學機械CMP拋光液在研究初期大多是使用單一磨料,如氧化鋁拋光液(Al2O3)、二氧化硅拋光液(SiO2)、二氧化鈰拋光液(CeO2)、氧化鋯拋光液(ZrO2)和金剛石拋光液等。其中研究應用最多的是Al2O3、SiO2和CeO2磨料拋光液。氧化鋁拋光液--Al2O3的硬度高,多用于藍寶石、碳化硅、光學玻璃、晶體和合金材料的拋光,但含Al2O3的拋光液會出現(xiàn)選擇性低、分散穩(wěn)定性不好、易團聚的問題,容易在拋光表面造成劃傷,一般需要配合各種添加劑使用才能獲得良好的拋光表面。氧化硅拋光液--SiO2具有良好的
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