您好,歡迎來(lái)到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購(gòu)熱線:17706168670
熱門搜索: 阻尼布拋光墊復(fù)合拋光皮復(fù)合拋光墊粗拋皮粗拋墊
吉致電子專注金屬拋光、陶瓷拋光、半導(dǎo)體拋光、硬盤面板拋光
當(dāng)前位置:首頁(yè)» 吉致動(dòng)態(tài) » 鈮酸鋰晶體怎么拋光?

鈮酸鋰晶體怎么拋光?

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2024-03-08 11:16【

 鈮酸鋰晶體拋光,用吉致電子CMP鈮酸鋰拋光液是有效方法

 鈮酸鋰晶體(分子式 LiNbO3簡(jiǎn)稱 LN)是一種具有鐵電、壓電、熱電、電光、聲電和光折變效應(yīng)等多種性質(zhì)的功能材料,是目前公認(rèn)為光電子時(shí)代"光學(xué)硅"的主要候選材料之一。它在超聲器件、光開(kāi)關(guān)、光通訊調(diào)制器、二次諧波發(fā)生和光參量振蕩器等方面獲得廣泛應(yīng)用。

  鈮酸鋰晶片的加工質(zhì)量和精度直接影響其器件的性能,因此鈮酸鋰的應(yīng)用要求晶片表面超光滑、無(wú)缺陷、無(wú)變質(zhì)層。目前,有關(guān)鈮酸鋰晶片的加工特性及其超光滑表面加工技術(shù)的研究較少,鈮酸鋰產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用因此受到制約。因此,開(kāi)展鈮酸鋰晶片超光滑無(wú)損傷表面拋光加工技術(shù)研究,對(duì)于開(kāi)發(fā)大直徑鈮酸鋰晶片,進(jìn)一步提高硬脆材料精密與超精密加工水平,促進(jìn)我國(guó)光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有著深遠(yuǎn)的意義。

  化學(xué)機(jī)械拋光(chemical mechanical polishing,簡(jiǎn)稱CMP)技術(shù)是機(jī)械削磨和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù),它借助超微粒子的研磨作用以及拋光液的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面上形成光潔平坦表面。CMP技術(shù)綜合化學(xué)和機(jī)械兩方面的特性,既能消除材料表面前加工導(dǎo)致的損傷層,又能夠較好地實(shí)現(xiàn)表面全局平坦化,現(xiàn)已成為半導(dǎo)體加工行業(yè)的主導(dǎo)技術(shù)。研究表明,化學(xué)機(jī)械拋光是獲得高質(zhì)量鈮酸鋰加工表面的有效方法。

 吉致電子鈮酸鋰拋光液拋光墊搭配使用,通過(guò)調(diào)節(jié)CMP機(jī)臺(tái)拋光壓力、轉(zhuǎn)速、流速等工藝參數(shù)對(duì)材料去除率的影響,獲得光滑的鈮酸鋰晶片高平坦表面。

本文由無(wú)錫吉致電子科技原創(chuàng),版權(quán)歸無(wú)錫吉致電子科技,未經(jīng)允許,不得轉(zhuǎn)載,轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接。http://m.jeffvon.com/

無(wú)錫吉致電子科技有限公司

聯(lián)系電話:17706168670

郵編:214000

地址:江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)新吳區(qū)新榮路6號(hào)

相關(guān)資訊