2月22日，在化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)室，一名科研人員在展示應(yīng)用化學(xué)機(jī)械拋光液研磨的硅襯底。

2月22日，由一家科技型中小企業(yè)建立的我國(guó)首條化學(xué)機(jī)械拋光液生產(chǎn)線，年產(chǎn)能達(dá)6000噸，創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)價(jià)值億元，可取代進(jìn)口產(chǎn)品。

據(jù)介紹，該企業(yè)依托河北工業(yè)大學(xué)建立，共同承擔(dān)國(guó)家中長(zhǎng)期科技發(fā)展規(guī)劃02重大專項(xiàng)“大規(guī)模集成電路平坦化工藝與材料”項(xiàng)目。由學(xué)校研發(fā)、公司生產(chǎn)的系列化學(xué)機(jī)械拋光液、清洗液處于我國(guó)領(lǐng)頭地位，已在北京、上海、江蘇等省市三十余家微電子企業(yè)實(shí)現(xiàn)規(guī)模應(yīng)用。

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