α -氧化鋁(Al2O3)是眾多氧化鋁晶相中的最穩(wěn)定的晶體相，它由其他晶相的氧化鋁在高溫下轉(zhuǎn)變而成，是天然氧化物晶體中硬度最高的物質(zhì)，硬度僅次于金剛石，遠遠大于二氧化硅溶膠顆粒，它是一種常用的拋光用磨料，被廣泛用于許多硬質(zhì)材料的拋光上。在CMP拋光液制備中，氧化鋁拋光液常用于在藍寶石窗口的鏡面拋光工藝中。

 α -氧化鋁(Al2O3)其實與藍寶石是同一種物質(zhì)或材料，材料結(jié)構(gòu)中的原子排列模式完全相同，區(qū)別在于多晶體與單晶體。因此，從硬度上講α-氧化鋁(Al2O3)納米粉體與藍寶石晶體的硬度相當，可以用于拋光藍寶石工件——藍寶石晶片、藍寶石襯底、藍寶石外延片等。

  藍寶石晶體的拋光一般是在堿性條件下進行，在堿性條件下的高壓摩擦可以使藍寶石的表面發(fā)生一定的化學反應(yīng)，從而使CMP有效進行，所以磨料在堿性水溶液中的穩(wěn)定性很重要。氧化鋁拋光液在堿性條件下它比氧化硅拋光液更加穩(wěn)定，可以經(jīng)受更高的溫度而不變質(zhì)，以a -Al2O3為磨料的拋光液比硅溶膠可以調(diào)整到更高的PH區(qū)域，具有更高的拋光速度，同時，可以在拋光過程中反復循環(huán)使用，成本低，可以大規(guī)模推廣使用。Q-Al2O3粉體可以制備成平均顆粒大小從I00nm--1000nm以上的不同的拋光液，用于藍寶石晶體的粗拋，精拋的不同工序中。

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