藍(lán)寶石拋光液中的主要成分有磨料、表面活性劑、螯合劑、PH調(diào)節(jié)劑等。拋光液是影響CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）效果最重要的因素之一，評(píng)價(jià)拋光液性能好壞的指標(biāo)是流動(dòng)性好，分散均勻，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)不能產(chǎn)生團(tuán)聚、沉淀、分層等問(wèn)題，磨料懸浮性能好，拋光速率快，易清洗且綠色環(huán)保等。

  其中，磨料主要影響化學(xué)機(jī)械拋光中的機(jī)械作用。磨料的選用主要從磨料的種類(lèi)、濃度以及粒徑三個(gè)方面來(lái)考慮。目前CMP拋光液中常用的磨料主要有金剛石、氧化鋁、氧化硅等單一磨料，也有氧化硅/氧化鋁混合磨料以及核殼型的復(fù)合磨料等。行業(yè)內(nèi)主流拋光液產(chǎn)品分為氧化鋁拋光液、金剛石拋光液、二氧化硅拋光液和氧化鈰拋光液等。

  藍(lán)寶石拋光行業(yè)主流采用的仍是納米二氧化硅作為拋光液，最后得到拋光表面的粗糙度（Ra，原子力顯微鏡測(cè)試）均在0.3nm以下。無(wú)錫吉致電子科技25年拋光液廠家,為您解決藍(lán)寶石拋光難題！

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