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氧化層拋光液 /Oxide slurry/CMP拋光液
磨料類型:半導體cmp拋光液slurry
磨料粒徑:納米級SiO2
Oxide氧化層拋光液·參數吉致電子,OXIDE SLURRY 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA
產品名稱:氧化層拋光液/Oxide氧化物CMP研磨液/Oxide slurry
氧化層拋光液作用: 吉致電子OX氧化層拋光液適用于4-12吋氧化硅鍍膜片的拋光。特選粒徑均一的SiO2水溶膠為磨料,拋光清洗后晶圓表面粗糙度低、顆粒殘留少??蛻粼谑褂眠^程中通過優(yōu)化稀釋比例,均能達到最佳拋光效果。
納米級SiO2磨料,粒徑均一穩(wěn)定,去除速率穩(wěn)定,金屬離子含量低,通過CMP工藝可有效去除表面氧化層,達到理想平坦度。
吉致電子Oxide Slurry與國內外同類產品相比,具有易清洗、表面粗糙度低等特點。
吉致電子slurryJZ-B3580A與競品D3xxx數據對比:
JZ-B3580A基礎參數與D3xxx 相近,平均 粒徑低于D3xxx,總金屬離子含量與D3xxx 相近。
JZ-B3580A表面粗度與D3xxx 在同一水平。
吉致電子氧化層拋光液JZ-B3580&JZ-B3580A:
JZ4500對OX拋光速率更快;
JZ4000對Si的選擇比更高,RRox:RRsi=1:0.99,接近1:1
吉致電子氧化層拋光液/OxideSlurry拋光液儲存方法:
通風,陰涼,干燥的庫房,本品需在5-35℃儲存,防止陽光直射及凍結,零度以下因產生不可再分散結塊而失效。
吉致電子的CMP金屬拋光液生產技術是引進國外生產技術和設備,特殊化學配方制備而成。吉致電子拋光液品質可以媲美進口同類產品。
本土化生產的優(yōu)勢使吉致電子CMP拋光液產品交貨周期快,品質好,拋光液價格實惠親民。
吉致電子CMP拋光耗材適用范圍
吉致電子科技有限公司擁有成熟的加工工藝和先進的生產設備,為不銹鋼、銅、鋁、陶瓷、導光板、五金產品、藍寶石、光學玻璃等各類拋光加工服務。為您提供可靠有效的拋光解決方案!
吉致電子研發(fā)團隊--15年經驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!
無錫吉致電子科技有限公司
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