拋光墊，其包含一具有一頂部表面和一底部表面的主體，所述頂部表面包含一具有一一深度和一寬度的一組凹槽，所述底部表面包含一具有一其二深度和其二寬度的其二組凹槽，其中所述一組凹槽與其二組凹槽互連并以使其不對準(zhǔn)的方式定向。

拋光墊，其包含一主體，所述主體具有：(a)一頂部表面，其包含一具有一一深度和一寬度的一組凹槽；和(b)一底部表面；其包含一具有一其二深度和其二寬度的其二組凹槽，其中所述一組凹槽和其二組凹槽互連并以使其不對準(zhǔn)的方式定向。

拋光墊的作用

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域；

②將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行;的反應(yīng)物、碎屑等順利排出，達(dá)到去除效果；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行；

④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌；