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吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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SiC碳化硅襯底研磨拋光產(chǎn)品

產(chǎn)品分類: 按產(chǎn)品分類
    吉致電子·碳化硅研磨拋光·半導(dǎo)體晶圓拋光
    產(chǎn)品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅SIC研磨墊/Sic精拋墊
    產(chǎn)品特點(diǎn):Politex拋光墊FUJIBO拋光墊國產(chǎn)替代
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    精密陶瓷拋光液 CMP納米級拋光液
    精密陶瓷拋光液 CMP納米級拋光液
    吉致電子·精密陶瓷件拋光液·半導(dǎo)體拋光液
    產(chǎn)品名稱:氧化鋯拋光液/氧化鋁拋光液/氮化硅拋光液/氮化鋁拋光液
    產(chǎn)品特點(diǎn):適用于碳化物、氮化物、氧化物和硼化物各精密陶瓷件的鏡面拋光
    阻尼布拋光墊/碳化硅精拋墊/Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    阻尼布拋光墊/碳化硅精拋墊/Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    吉致電子拋光墊
    產(chǎn)品名稱:碳化硅精拋墊/阻尼布拋光墊/絨面拋光墊
    產(chǎn)品厚度:0.6mm-3mm(可定制)
    產(chǎn)品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
    產(chǎn)品特點(diǎn):Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    半導(dǎo)體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
    半導(dǎo)體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
    產(chǎn)品名稱:鈮酸鋰晶體拋光液/鈮酸鋰拋光漿料/LN拋光液
    磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
    磨料粒徑:專利化學(xué)配方/可定制

      碳化硅襯底研磨拋光·工藝吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA碳化硅研磨拋光工藝 拋光液 研磨液

      產(chǎn)品分類:吉致電子·碳化硅研磨拋光·半導(dǎo)體晶圓拋光

      產(chǎn)品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅SIC研磨墊/Sic精拋墊

      吉致電子針對碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)研磨液、拋光液拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)。在研磨和拋光應(yīng)用中提高碳化硅襯底表面質(zhì)量,同時(shí)顯著提高材料去除率。

      產(chǎn)品工藝及用途:適用于SiC碳化硅襯底DMP和CMP工藝制程,有效提升效率以及良率,碳化硅拋光液/拋光墊實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

      碳化硅工藝流程(水?。?jpg


      碳化硅SiC研磨工藝·粗研磨/精研磨

      吉致電子SIC襯底CMP粗磨/精磨工藝:Tip1粗磨液+研磨墊,Ra可達(dá)1.22nm及以下;Tip2精磨液+研磨墊,Ra可達(dá)0.45nm及以下。

      碳化硅SiC拋光工藝·粗拋光/精拋光

      碳化硅粗拋精拋

      吉致電子SIC襯底CMP粗拋/精拋工藝:Tip3粗拋液+研磨墊,Ra可達(dá)0.13nm及以下;Tip4精拋液+精拋墊,Ra可達(dá)0.06nm及以下。


      想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數(shù)與方案,歡迎來電咨詢

      碳化硅研磨拋光工藝產(chǎn)品推薦及參數(shù).jpg


      吉致電子SiC碳化硅拋光液儲(chǔ)存方法:

      通風(fēng),陰涼,干燥的庫房,本品需在5-35℃儲(chǔ)存,防止陽光直射及凍結(jié),零度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。

      吉致電子CMP拋光液/Slurry拋光液價(jià)格:

      吉致電子的CMP金屬拋光液生產(chǎn)技術(shù)是引進(jìn)國外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備,特殊化學(xué)配方制備而成。吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進(jìn)口同類產(chǎn)品。

      本土化生產(chǎn)的優(yōu)勢使吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快,品質(zhì)好,拋光液價(jià)格實(shí)惠親民。

      吉致電子CMP拋光耗材適用范圍

      吉致電子科技有限公司擁有成熟的加工工藝和先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備,為不銹鋼、銅、鋁、陶瓷、導(dǎo)光板、五金產(chǎn)品、藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃等各類拋光加工服務(wù)。為您提供可靠有效的拋光解決方案!

      吉致電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)--15年經(jīng)驗(yàn)CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

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      磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
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