Sic Slurry 吉致電子碳化硅晶圓拋光液
吉致電子碳化硅精拋液,適用于Sic碳化硅晶圓襯底精密加工表面平坦化。wafer使用的Slurry具有高度拋光、低粗糙度的特點,SiC碳化硅襯底拋光液拋光后的晶圓表面無劃傷、霧等缺陷,碳化硅晶片平坦度高。吉致電子研發(fā)的碳化硅拋光液稀釋比高、拋光后表面易清洗,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路襯底的制造中。
吉致電子SiC Slurry wafer拋光液具有很好的流動性和分散性,不易結(jié)晶、易清洗、拋光效率高等優(yōu)點,可以滿足碳化硅晶片的精拋加工要求,也可根據(jù)客戶工藝調(diào)整做定制化硅晶圓(si wafer)化學機械拋光液。
吉致電子強大的工程師團隊,針對硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦等拋光液有專利配方和工藝流程,歡迎免費咨詢獲取解決方案!
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