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拋光墊的作用?

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2014-08-20 16:48【

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域;

②將拋光后的反應(yīng)物、碎屑等順利排出;

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜,以便化學(xué)反應(yīng)充分進行;

④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形,以便獲得較好的晶片表面形貌。

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