拋光墊的作用？
②將拋光后的反應(yīng)物、碎屑等順利排出；
③維持拋光墊表面的拋光液薄膜,以便化學(xué)反應(yīng)充分進行；
④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形,以便獲得較好的晶片表面形貌。
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