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吉致資訊第10期:拋光液生產(chǎn)工藝

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2014-12-20 14:31【


拋光液是怎么生產(chǎn)加工的呢?拋光液的生產(chǎn)是需要精細(xì)的比例配料,然后開始預(yù)分散,配料分散均勻后開始研磨,研磨過后在繼續(xù)分散攪拌,后開始包裝?;瘜W(xué)機(jī)械拋光液的組成一般包括一般由細(xì)固體粒子研磨劑(如納米SiO2、Al2O3粒子等)、表面活性劑、穩(wěn)定劑、氧化劑等。固體粒子提供研磨作用,化學(xué)氧化劑提供腐蝕溶解作用,由于SiO2粒子去除率高,得到的表面質(zhì)量好,因此在硅片拋光加工中主要采用SiO2拋光液。

 

拋光液對(duì)于磨料的要求是很高的,如果磨料顆粒不均勻,拋光過程中較大的顆粒就會(huì)刮花工件,會(huì)出現(xiàn)劃傷、麻點(diǎn)等不良品,終導(dǎo)致產(chǎn)品不良。選擇拋光不同材質(zhì)的工件需要選擇不同的磨料,如拋軟一些材質(zhì)的元件可以采用氧化硅磨料,如硬一些材質(zhì)可以選擇金剛石和碳化硅磨料等。 

 

 

化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是半導(dǎo)體晶片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一,并用于集成電路制造過程的各階段表面平整化,而拋光液對(duì)拋光效率和加工質(zhì)量有著重要的影響,但由于具有很高的技術(shù)要求,目前商業(yè)化的拋光液配方處于完全保密狀態(tài),主要集中在美國、日本、韓國。這也導(dǎo)致在我國半導(dǎo)體硅拋光片加工中,所使用的拋光液絕大多數(shù)都要靠進(jìn)口。盡管我國目前在拋光液行業(yè)現(xiàn)已發(fā)展到有幾十家的企業(yè),但是真正涉足到半導(dǎo)體硅片拋光液制造、研發(fā)方面的企業(yè)很少。

 

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