藍(lán)寶石拋光液如何選?
隨著科技的發(fā)展和迭代,3C科技產(chǎn)品對(duì)玻璃面板的要求越來(lái)越高,需要硬度更高且不容易劃傷的玻璃,因此藍(lán)寶石材質(zhì)的應(yīng)用和需求越來(lái)越廣泛,如手機(jī)藍(lán)寶石屏幕、藍(lán)寶石攝像頭、藍(lán)寶石手表等。藍(lán)寶石的特點(diǎn)是硬度高,脆性大,所以拋光液加工難度也大。
因此,很有必要研究并升級(jí)CMP拋光工藝在藍(lán)寶石窗口上的應(yīng)用,選擇適用的CMP拋光液。目前國(guó)內(nèi)批量生產(chǎn)藍(lán)寶石襯底的技術(shù)還不成熟,切割出來(lái)的藍(lán)寶石晶片有很深的加工痕跡,拋光后容易形成麻點(diǎn)或劃痕。在藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)中,裂紋和崩邊的情況比較高,占總數(shù)的5%-8%。拋光過(guò)程中影響拋光質(zhì)量的因素很多,如拋光液的成分和PH值、壓力、溫度、流量、轉(zhuǎn)速、拋光墊的質(zhì)量等。
藍(lán)寶石拋光對(duì)拋光液的材質(zhì)要求很高。太軟的磨料會(huì)導(dǎo)致拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng),拋光效果不理想。目前適用于藍(lán)寶石拋光液主要選擇鉆石拋光液。鉆石拋光液以人造金剛石為磨料,硬度高、韌性好,配合藍(lán)寶石拋光墊一起使用減薄速率快,切削力好。想要達(dá)到鏡面效果,可以使用氧化硅拋光液和精拋墊進(jìn)行深入加工,達(dá)到精拋的效果。
吉致電子科技有限公司25年拋光液廠家,有豐富的拋光液拋磨案例,專(zhuān)業(yè)研發(fā)CMP化拋液,可為您提供優(yōu)質(zhì)藍(lán)寶石拋光方案和產(chǎn)品。
本文由無(wú)錫吉致電子科技原創(chuàng),版權(quán)歸無(wú)錫吉致電子科技,未經(jīng)允許,不得轉(zhuǎn)載,轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接。http://m.jeffvon.com/
無(wú)錫吉致電子科技有限公司
聯(lián)系電話:17706168670
郵編:214000
地址:江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2
相關(guān)資訊
最新產(chǎn)品
同類(lèi)文章排行
- 吉致電子榮獲第四屆亞太碳化硅及相關(guān)材料國(guó)際會(huì)議“優(yōu)秀組織獎(jiǎng)”
- 吉致電子科技碳化硅研磨液的作用
- 吉致電子手機(jī)中框拋光液及智能穿戴設(shè)備表面處理
- 藍(lán)寶石襯底研磨用什么拋光液
- 半導(dǎo)體先進(jìn)制程PAD拋光墊國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)行中
- CMP在半導(dǎo)體晶圓制程中的作用
- TSV拋光液---半導(dǎo)體3D封裝技術(shù)Slurry
- 藍(lán)寶石窗口平面加工--藍(lán)寶石研磨液
- 什么是OX研磨液?吉致電子氧化層拋光液性能有哪些?
- 半導(dǎo)體行業(yè)CMP化學(xué)機(jī)械平坦化工藝Slurry